熱式質量流量控制器與其他流量計的區別在于,基于熱原理的產品比市場上其他類型的流量控制器具有更高的自動化集成度、更好的精度、穩定性和重復性。在實際使用中,發現當輸入氣體不同時,控制顯示值與實際值不一致。事實上,原因很簡單,因為在MFC行業中,有一個參數叫做CF,即氣體轉換系數(以下簡稱CF)。在MFC工業中,N2(氮氣)被定義為標準氣體M。N2的CF值為1.00,其他氣體以氮氣為中心,分布在0.1和1.4之間。 熱流量計是一種基于熱擴散原理設計的流量儀表,即當流體流過加熱物體時,加熱物體的熱損失與流體的流量成正比。該系列流量計的傳感器有兩個標準級RTD,一個用于熱源,另一個用于測量流體溫度。當流體流動時,兩者之間的溫度差與流速成線性關系,然后通過微電子控制技術將該關系轉換為測量流量信號的線性輸出。閥體的溢流材料為不銹鋼。
熱式質量流量控制器廣泛應用于以下行業:
1.鍋爐和裂解爐燃料氣質量流量的測量和控制;
2.石油化工、石油生產和火炬氣的質量流量測量;
3.燃燒爐空氣質量流量的測量和控制;燃氣輪機氫氣質量流量和控制;
4.食品加工和飲料氣體質量流量和控制;
5.水廠氯氣質量流量控制;
6.半導體生產過程中的高純度氣體質量流量測量;
7.催化劑和化學添加劑質量流量測量;
8.泵保護控制、泵密封、潤滑油池泄漏檢測;
9.空調系統控制;
10.儀表空氣、工藝空氣、氮氣等的質量流量測量。
11.氣體分析儀、大氣采樣器
12.泄漏監測
13.配氣系統
14.實驗室氣體測量
15.醫療應用
16.燃料電池